來源：測控網
如果期望利用物聯網驅動下一輪的電子產業成長，在很大程度上必須依賴MEMS和感測器技術，才能使所有的智慧物件與現實世界進行互動。但從實現新的 MEMS設計到量產，可能要花很長的時間，以及高昂的代價，才能滿足物聯網市場的期待——除非電子產業能夠找到加速MEMS開發之路。
採用現有MEMS元件的新應用，正以12%的年成長率推動MEMS市場進展。然而，Yole Development執行長兼總裁 Jean Christophe Eloy表示，除非業界能夠找到，如何順利將機械元件轉換為矽晶的方法，否則要加速突破性新產品量產的困難度，可能減緩未來的 MEMS市場成長。
MEMS完全創新產品缺席逾十年
透過在更多應用中，更廣泛地採納成熟的MEMS元件，可望讓這種更小體積、更高性能，且更低成本的漸進式元件創新，持續刺激感測器，及其所實現的系統邁向強勁成長。去年在MEMS領域實現最快速成長的，要算是安華高科技(Avago Technologies)和Qorvo(原Triquint)，這是因為LTE的廣泛普及，對於多模手機所用的體聲波(BAW)濾波器，帶來了很大的需求。同樣地，更多應用對於MEMS麥克風和慣性感測器的強勁需求，有助於推動更多的感測器供應商，進軍2-3億年營收範圍的行列。
“這真的很重要，因為現在有多家公司都有潛力發展成為10億美元的公司，”Eloy指出。
然而，僅採用現有元件類型的新應用，要維持110億美元業務的兩位數成長，在時間上可能無法長久。“挑戰之一在於最近完全創新的產品，還是2003年時樓氏電子(Knowles)開發的MEMS麥克風。”Eloy表示，“從那以後，都只是在整合度、更好的封裝等方面帶來漸進式創新。雖然這些也是非常重要的創新，但不是突破性的新產品。我們仍在等待MEMS開關、自動對焦和揚聲器等產品，完全過渡到大量生產階段。”
半導體產業已經找到，可在競爭前的研究領域展開合作的方式了，而且已經有了發展良好的商用基礎架構，來支援持續的成長，他表示。“MEMS產業需要一些變革發生，以便簡化與加速設計過程，並儘快投入量產。”
根據Yole的資料顯示，2014年全球MEMS營收達111億美元
“隨著到處都需要感測器來實現物聯網、情境感知，尤其是對於新型生化與生醫感測器的新興需求，我認為MEMS產業的發展的確才剛剛開始，”矽谷投資業者 Bandof Angels SIG委員會主席Kurt Petersen表示。“價格將繼續下滑，但目前開發中的新型感測機制，將大幅提高精度，”對於發展中的壓電麥克風、超音波手勢辨識，以及新的慣性技術帶來巨大的潛在影響——以更高10倍的精確度大幅改善導航資訊。
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Peterson認為真正有用的穿戴裝置，尚未被開發出來，但對於其未來的發展表示樂觀。最有發展前景的是現正開發中的新一類生化感測器，例如新創公司Profusa的可植入式葡萄糖感測器，外部光學裝置讀取，它利用一種可調式感測器平臺，在人體內偵測化學藥物。
除了更好的生化和生醫感測器以外，能量採集器是另一個機會。“能量採集器將會變得日趨重要，因為物聯網將為其提供一個巨大的市場，”他說。
MEMS新平台推動成長
為了能以市場要求的最快上市時間與低成本，將這些新式的MEMS元件投入量產，推動半導體業開發出一些新的方法。
“過去客戶求助於我們時，通常要求採用他們自己的獨特製程，但現在有越來越多的客戶要求我們盡可能使用標準平台，只需少量修改即可，”Teledyne Dalsa公司MEMS代工廠執行副總裁兼總經理Claude Jean表示。“一款產品採用一種製程的傳統做法，還沒有被完全淘汰，但越來越多的客戶傾向於利用成熟的平台來開發產品，”他補充道。
Dalsa公司正為慣性感測器、微測輻射熱計、光學MEMS和壓電元件，提供更廣泛的不同平台，並盡可能地擴展自家的設計和測試支援業務。
新平台技術也來自研發實驗室。法國原子能署電子暨資訊技術實驗室(CEA-Leti)的目標在於與代工廠合作，將其壓阻式MEMS平台投入生產，以提供給更多客戶。這種技術在移動的物質利用>10nm的厚層，而將<500nm span="">的超薄層，用於邊緣的壓阻式元件，然後透過壓縮或拉緊，改變電阻來檢測其運動。
“這種技術為緊密地整合多個感測器，提供了替代性方法，可以協助像系統或CMOS製造商等缺少自有技術的新公司，很快地開發出產品來。”CEA-Leti北美策略合作夥伴副總裁Hughes Metras並指出，CEA-Leti已經與首家取得授權的業者TroNIcs迅速地將其六自由度慣性感測器推向市場了。
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